钰镍半导体携最新技术亮相SEMICON China 2024

2024年3月20-22日，作为全球规模最大、规格最高的年度半导体业界盛会SEMICON China 2024在上海新国际博览中心拉隆重举行。本届展会汇聚国内外顶级半导体领域厂商与行业大咖，是了解全球产业格局、前沿技术与市场走势，是纵观全球业界领袖智慧和视野的优秀平台。

作为业内优秀的泛半导体流体行业供应商——钰镍（上海）半导体科技有限公司（以下简称“钰镍半导体”）携多款Gaspanel定制产品与VTM真空传送平台流体解决方案亮相本次展会。

在本场展会上，钰镍半导体参与研发设计的国产化真空传送平台（VTM），成为展会上的一道亮点。

钰镍半导体参与研发及生产的VTM真空传送平台定制产品主要应用于半导体生产中的晶圆制造阶段，可用来实现在半导体芯片生产车间内的晶圆传输功能及其所需要的各种特气、超纯水等。其中流体系统管道由EP级316L不锈钢焊接制成，直径大于0.03μm的颗粒数低于10颗，满足半导体制造严苛的颗粒控制要求，真空度可达2X10^-5Pa，漏率低于3X10^-11Pa *m³/s，满足薄膜，刻蚀，离子注入等工艺需求，使得晶圆制造工艺更加稳定。流量稳定，可达80L/min，满足各种工艺的冷却水用量需求。

本产品的意义在于可以将一个设备前端模块与多个工艺腔体连接起来，并在超高真空状态下进行传片，增大了设备集成度，减少了设备占地面积。并且可以将不同工艺腔体（如刻蚀腔体，薄膜腔体）真空互联起来，可以在真空中转换工艺种类，减少了晶圆被氧化，被污染的可能。独立的供气，供电模块，让设备的模块化概念更加清晰，可以使设备随意切换工艺类型。

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现场几款特气传输系统Gaspanel定制产品同样备受关注，吸引了不少专业观众的驻足观看。

Gaspanel用于半导体行业高纯气体的控制和传输，将特定气体按照指定流量供应到反应腔。钰镍半导体展出的定制VMP(Valve Manifold Panel)是用于半导体主设备VTM上的通入GN2或者He的气体控制系统，本产品可有效去除GN2或He中携带的微小杂质。Gaspanel设计思路简单，已有各种成熟案例。